各式真空泵的工作原理 无油干式机械真空泵（又简称干式机械泵）指泵能从大气压力下开始抽气。泵腔内无油或其他工作介质，又能将被抽气体直接排到大气中去。而且泵的极限压力与油 封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。 目前。泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充 任泵的工作介质。原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质 量、数量，增加设备的维护本钱。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重蜕变，使泵不能正常工作。 对于普通的无油真空系统来说。但不能完全解决问题，虽然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流。而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式 机械真空泵，则可以达到理想的使用效果。 干式机械真空泵的应用是广泛的主要有以下几个方面： 1低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 2半导体刻蚀工艺。这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒； 3除半导体工艺外的某些发生微粒的工艺。而希望微粒排出泵外，不希望微粒混入泵油中。则用干式机械真空泵可以满足要求； 4化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵； 5用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。 近年来。国外多家大真空公司都研制出了新型的干式机械真空泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械真空泵的开发研制工作，干式机械真空泵得到迅速的发展。 如东北大学、沈阳真空技术研究所、上海真空泵厂等。目前，干式机械真空泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式真空泵主要有叶片式、凸轮式、往复活塞 式、膜片式等，这类泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）非接触型的干式泵有：罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用于大容量， 低压缩比（指单级压缩比）不同类型的干式泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。 油封式真空泵是用油来坚持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称。工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工 作室容积变得最小时。于是气体进入泵吸入腔，与泵的入口管道连通。一直到吸入腔容积最大偏重新与进气口分开时为止。当容积减少时，气体被压缩，直到气体的 压力大于一个大气压，排气阀被打开，将气体排出。 用油作密封泵的必要性：当前大量使用的机械真空泵。相向运动的零件间配合精度即使很高。泵达到极限真空时，即使设计得最好。也难以阻止气体由低真空端向入 口端“突破”返流。另外，由于泵在设计制造及装配中不可防止地存在有害空间，这也降低泵的极限真空度。油封式真空泵就是用油将相向运动的零部件和排气阀零 件间密封起来；将有害空间充填，使得高压气体反“突破”机会少得多，密封性能也就好得多，从而使泵能达到较高的真空度。欢迎你访问上海耐励泵业 http://www.shnaili.com/